Опис
Електрозондовий мікроаналізатор
Завдяки застосуванню передової електронно-оптичної системи з термопольовим джерелом випромінювання (емітер Шоттки), мікроаналізатор EPMA-8050G забезпечує безпрецедентно високу просторову роздільну здатність СЕМ-зображень у широкому діапазоні струмів (до 1 мкА). У поєднанні з високопродуктивними рентгенівськими спектрометрами, оптичним мікроскопом, здвоєним цифровим перетворювачем сканування та сучасною робочою станцією, система гарантує неперевершені результати мікроаналізу.
Особливості
- Використання високопродуктивного емітера Шоттки у конструкції електронної гармати дозволило суттєво звузити діаметр пучка та забезпечити надвисоку просторову роздільну здатність у всьому діапазоні прискорювальних напруг.
- Роздільна здатність зображення у вторинних електронах — 3 нм при напрузі 30 кВ — є найвищою серед усіх систем серії EPMA.
- Стабільний електронний пучок із максимальним зондовим струмом до 3 мкА забезпечує високу точність і чутливість аналізу без необхідності зміни апертури об’єктива.
- Двостадійна система вакуумування підтримує постійний високий вакуум у камері електронної гармати, що забезпечує стабільність пучка, необхідну для прецизійних вимірювань.
