Опис
Електронно-зондові мікроаналізатори
Нове покоління приладів для високоточного рентгеноспектрального аналізу нано- та мікрооб'єктів дозволяє отримувати зображення поверхні в режимі растрової електронної мікроскопії (у вторинних або відбитих електронах), проводити якісний та кількісний елементний аналіз, картування розподілу елементів за площею та концентрацією, ідентифікацію елементів у слідових кількостях, визначення хімічного стану елементів і типу зв’язків у матеріалі.
Особливості
- У приладі реалізовано підвищений кут реєстрації рентгенівського випромінювання (52,5°), що покращує аналітичні характеристики, забезпечуючи кращу просторову роздільну здатність і підвищену чутливість завдяки меншому поглинанню променів.
- Оптимізовано роботу при аналізі нерівних або рельєфних зразків — зменшено втрати сигналу при вимірюванні у поглибленнях.
- Мікроаналізатор відзначається високою стабільністю, відтворюваністю та точністю результатів; чутливість для деяких елементів сягає десятків ppm.
- Вбудований оптичний мікроскоп із збільшенням близько 540×, коаксіальний та конфокальний з електронним зондом, дозволяє одночасно спостерігати SEM-зображення та оптичне зображення з відтворенням кольору зразка.
- Використання високоефективних кристалів-аналізаторів Йоганссона забезпечує ідеальну конвергенцію без аберацій.
- Прилад може бути оснащений до п’яти 4-дюймових хвильодисперсійних спектрометрів, що охоплюють повний спектральний діапазон.
