Описание
Электрозондовый микроанализатор
Благодаря использованию передовой электронно-оптической системы с термополевым источником излучения (эмиттер Шоттки), микроанализатор EPMA-8050G обеспечивает беспрецедентно высокое пространственное разрешение СЭМ-изображений в широком диапазоне токов (до 1 мкА). В сочетании с высокопроизводительными рентгеновскими спектрометрами, оптическим микроскопом, сдвоенным цифровым преобразователем сканирования и новой рабочей станцией, система позволяет достигать выдающихся результатов при проведении микроанализа.
Особенности
- Использование высокопроизводительного эмиттера Шоттки в конструкции электронной пушки позволило значительно сузить диаметр пучка и обеспечить сверхвысокое пространственное разрешение во всём диапазоне ускоряющих напряжений.
- Разрешение изображения во вторичных электронах — 3 нм при 30 кВ — является самым высоким среди систем EPMA.
- Стабильный электронный пучок с максимальным зондовым током до 3 мкА обеспечивает высокую точность и чувствительность анализа без необходимости изменения апертуры объектива.
- Двухступенчатая система вакуумирования поддерживает постоянный высокий вакуум в камере электронной пушки, обеспечивая стабильность пучка, необходимую для прецизионного микроанализа.
