Описание
Электронно-зондовые микроанализаторы
Новое поколение приборов для высокоточного рентгеноспектрального анализа нано- и микрообъектов позволяет получать изображения поверхности в режиме растровой электронной микроскопии (во вторичных или отражённых электронах), проводить качественный и количественный элементный анализ, картирование распределения элементов по площади и концентрации, а также определять химическое состояние элементов и тип связей в материале.
Особенности
- В приборе реализован увеличенный угол регистрации рентгеновского излучения (52,5°), что улучшает аналитические характеристики, обеспечивая более высокое пространственное разрешение и чувствительность за счёт меньшего поглощения излучения.
- Оптимизирован для анализа неровных или шероховатых образцов — уменьшено поглощение при измерении в углублениях.
- Микроанализатор отличается высокой стабильностью и воспроизводимостью; чувствительность при анализе некоторых элементов достигает десятков ppm.
- Встроенный оптический микроскоп с увеличением около 540×, коаксиальный и конфокальный с электронным зондом, позволяет одновременно наблюдать SEM-изображение и оптическое изображение с передачей цвета образца.
- Использование высокоэффективных кристаллов-анализаторов Йоханссона обеспечивает идеальную конвергенцию без аберраций.
- Прибор может быть оснащён до пяти 4-дюймовых волнодисперсионных спектрометров, перекрывающих полный спектральный диапазон.
