Описание
- Повышение производительности достигается за счёт смены модуля зонда и автоматизированного индексирования без необходимости повторной калибровки.
- Встроенный удлинитель вместе с дополнительными удлинителями обеспечивает общую длину до 168 мм (включая максимальную длину стилуса).
- Использование движения CMM для блокировки, разблокировки и ориентации головки совместно с MCR20 обеспечивает полностью автоматизированную систему.
- Модули TP20 имеют переход во всех направлениях.
- Магнитное крепление обеспечивает дополнительную защиту от столкновений по осям X и Y.
- Повторяемость позиции: 1,5 мкм (TP20SF) / 2,5 мкм (TP20EM2).